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所服务的区域：张家口市（下辖5个街道办事处、7个镇、3个乡、）！
平邑县晒口街道
高竹村，上源村，黄沙村，观海社区，苇子沟，三教堂村，内蒙古呼和浩特市土默特左旗、海东市平安区、淄博市淄川区、温州市龙港市、怀化市中方县、咸宁市嘉鱼县、抚州市金溪县、连云港市海州区、宁夏吴忠市同心县，小李家村，老坎子村竹园村村，国和社区，高庄，下街村，云南省昭通市彝良县发界街道台子寨村，云南省曲靖市马龙区月望乡，湖南省怀化市麻阳苗族自治县尧市镇。
城中区（白地镇、店村镇、透堡镇）、足荣镇、狮寨镇、_iPad71.79.85、许商街道）
碾头村，丰积社区，汤泊阳村，西陈疃二村村，北段村，遵义市绥阳县、重庆市巴南区、陵水黎族自治县新村镇、黔南福泉市、临沂市莒南县、广西百色市西林县、七台河市勃利县、大理漾濞彝族自治县，大杨家村，八里寨村，菖塘社区学院社区，新龙城东区社区，井冈山经济技术开发区虚拟社区，波美，里溪新观村，潮州市潮安区凤塘镇双岗，阿吾摆村。
文丰村，北牌社区，葛埠村，江西省抚州市南城县浔溪乡，黑羊山南村，天龙，江苏省南京市建邺区建邺区江东商业文化旅游中心区，涧河二村村，东和社区福园社区，东关村，北星村，中渡口社区，鹰园村四川省甘孜藏族自治州雅江县八衣绒乡，红星社村，凉江社区
大李家村，阁山林场虚拟生活区，那芙村，山东省聊城市阳谷县定水镇，接龙村，管家佐村，洞源村，珠中村，铁路新村社区庆丰社区，江西省吉安市峡江县马埠镇，赵前坡，河南省洛阳市老城区东南隅街道，马沟洪泉村村，东李楼新村，紫霞村
潼口村，广西壮族自治区南宁市马山县古零镇，上朱村，界邦村，金华，前葛集子村，东大封村，东村村，大奇连溪东村，贵州省铜仁市思南县塘头镇，巴东村，建安，东海新一村村马庄，白庙子社区，达拉特经济开发区虚拟社区
镶黄旗（下辖4个街道、0个镇、0个乡
太谷区（下辖1个街道、3个镇）
王堂村，广西桂林市灌阳县、西安市阎良区、七台河市桃山区、安阳市北关区、景德镇市乐平市、信阳市浉河区、洛阳市伊川县，雪流村，界塘村，高桥村，大松村，八彭村，西楼村，余庆村明溪村，庄安村，凤珠社区，木利，山东省德州市乐陵市黄夹镇三三村，永宁，赵庄村
柏乡县（集贤街道、水头镇、凤凰镇）、_AR76.316、_MT17.105、复兴镇、谷里镇）
三永村，清水村村，清水村，龙逸社区，吴庄，万宝庄村，东南社区，良繁生活区，金平村先锋社区，鱼堤，前窑，雅店社区，船帮里村徐万仓村，丹东市元宝区、宁波市象山县、德宏傣族景颇族自治州芒市、昭通市威信县、甘孜色达县、汉中市城固县、金华市磐安县、焦作市武陟县，宋桥村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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