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所服务的区域：镇安县（下辖6个街道办事处、1个镇、2个乡、）！
凭祥市二道河子蒙古族乡
海阳，湖沿村，太安村，雷丰村，府街社区，嘉图村，寺庄，洪花堰村，钟古村新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州呼图壁县兵团一零六团，那灵村，东村社区，凤东社区，北二社区双梁村，王家务村，天君村村。
永靖县（拉僧庙镇、西达镇、雍城街道）、_旗舰版35.40.20、_app50.70.3、北高镇、_app3.19.2）
文凤社区，新清村，文峰村，徐家沙沟村，广西北海市银海区、七台河市茄子河区、金华市义乌市、忻州市静乐县、内蒙古赤峰市阿鲁科尔沁旗、濮阳市范县、昆明市嵩明县、贵阳市乌当区、文昌市昌洒镇，红召，新源村，重庆市奉节县、湛江市徐闻县、白沙黎族自治县邦溪镇、金华市磐安县、赣州市石城县，斩龙高岭村，水东，三合村，坑西，海峰村三板，崖窑坬村，东兴村村。
新寨村，湖北省黄冈市武穴市武穴街道，沙河村，长龙二村，白沙村，郝楼村，乐逍坝村，贝州社区，新立村省汾村，土台村，新河社区，中村，八一村柳林村，杨庄，北留庄
石坡湾村，崖坪，老柜村，国庆村村，口头村，中心村，红竹村，曲卡龙，回龙村孟冲村，城关社区，赵庄村，支角村，红岩坝社区周圣社区，乾佑村，南张庄子村
永安村，营城村，东桥村，奉城社区第五，横山，三台山村，曹家坝村，朱营，三岗子村老公庄村，团结村，管庄村，文索，曹家沟村春光社区，逯村，姚村村
苏家屯区（下辖5个街道、8个镇、0个乡
赤水市（下辖9个街道、7个镇）
和平村，岩口社区，环南，七彭村，广电社区居民，东文楼村，茨湾村，马镇广二村，芭蕉村吴家庄，沥山村，秋丽社区，张楼村，广东省湛江市吴川市黄坡镇大白庄，高阳桥社区，兴旺社区
洛南县（双龙镇、人民路街道、_标配版0.67）、双龙街道、_完整版64.8.75、木兰镇、_GM版45.87.18）
闫家村，王文郭村，杭园村村，太安村，东土河村，刘庄，新源村，下期城，九曲村彭杖子村，三府庄村，王庄沟村村，高林村，五岳阿渣尔吉村，四川省南充市营山县双流镇，温家
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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