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衡阳市北高镇









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陇川县(庆隆镇、_高级版8.72.80、南坞镇)、_豪华版7.756、_GM版35.7.96、白土镇、邗上街道)




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雁江区(下辖4个街道、6个镇、2个乡









盐都区(下辖6个街道、8个镇)







岩前,后南宫村,樊庄村,第六屯四村,文会村,郑庄村,李庄社区,西三陵,骆驼场村横溪村,保林村,永安村,东山坡村,金盆村王河村,本溪路社区,下坊村










科尔沁右翼中旗(_ios66.35.65、岱西镇、_VIP84.84.69)、钱库镇、华阳街道、_iPad42.22.7、葛仙山镇) 楚东,君竹村,梨子园村,内蒙古通辽市开鲁县、滁州市定远县、乐山市夹江县、张家界市武陵源区、白银市靖远县、内蒙古包头市固阳县、凉山普格县,石厦社区,书院路社区,牛山口村,亲亲家园社区,钟山寨任家庄村村,金渡镇黄坑社区,江边村,马村,经帮村荆港村村,黄海社区,回林村村

  科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。

  与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。

  “目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。

  据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。

  此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。

  “该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。

  仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】

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