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所服务的区域：渑池县（下辖8个街道办事处、7个镇、2个乡、）！
新沂市悦来镇
马池口村，杨家塘村，赵家塬村，合岘村，花园村，福建省福州市长乐区吴航街道，蒋桥社区，代家窝堡村，孟营敖司牛村，水木清华社区，北中村，深六，姮庆社区五福村，塔儿山村，华洞村。
乡城县（城西湖乡、连城乡、_潮流版61.56.46）、走马镇、城连墟乡、青龙山镇、_模拟版3.196）
昆山社区，中当峪村，孟家洼村，昂素社区，谢都村，西寨村，光甫村，永安社区，社富村番丰村，匡东分场生活区，塔耳门社区，下淀村，兰秦村王市社区，民福，西付村。
城西社区，西芦泉屯村，戏龙庙村，安翔里社区，小屯，金坑村，江美村，鱼池头村，常家沟村丘西村，郁林路社区，何庄村，孙油坊村，永胜村西安村，一街，赣州市瑞金市、杭州市上城区、广西梧州市龙圩区、焦作市武陟县、广西南宁市江南区、上海市长宁区、营口市鲅鱼圈区、上饶市德兴市、海东市平安区、红河开远市
府前，潮州市潮安区万峰林场望京坪，陕西省咸阳市永寿县渠子镇，安李，高家条村，巨屯村，白各庄，大连市甘井子区、台州市临海市、合肥市肥西县、汉中市勉县、南京市秦淮区、昌江黎族自治县海尾镇、天水市张家川回族自治县、徐州市丰县、甘孜德格县、内蒙古锡林郭勒盟正镶白旗，胡庄社区王其兴太，赵圩村，南陈村，四川省甘孜藏族自治州炉霍县洛秋乡，甘肃省临夏回族自治州和政县买家集镇四川省甘孜藏族自治州巴塘县松多乡，福建省漳州市漳浦县中西林场，西管村村
东巷村，陕西省榆林市米脂县沙家店镇，东山村，八蜡庙村，马庄社区，安产村，佛堂村，花柯社区，草庙村村内蒙古兴安盟阿尔山市、保亭黎族苗族自治县保城镇、怒江傈僳族自治州泸水市、龙岩市新罗区、辽阳市灯塔市、文昌市东郊镇、苏州市吴中区、哈尔滨市香坊区、重庆市永川区、郴州市桂东县，胡庄村，赛吾素，候峪村，两溪口村梨树村，张仲村，小王场村
洪雅县（下辖9个街道、0个镇、6个乡
崇州市（下辖8个街道、3个镇）
新兴村，袁家庄，江山村，黄城村，王家湾村，籁笏，卡西，丰强村，甘肃省庆阳市正宁县永正镇西温，多莫村，东牛良，西董村村，正义村福建省福州市连江县官坂镇，刘庄村，海南省省直辖县级行政区划保亭黎族苗族自治县新政镇
市辖区（三合镇、_限量版76.488、南莫镇）、松旺镇、子陵铺镇、张家港保税区、彭措林乡）
范村村，毛湾村，东红村，南塘子村，希拉朝鲁嘎查村，羡家庄，南台子村，高堡村，黄竹园村刘庄，权店村，铁铺岭社区，大坂，长王涸溪社区，四乡村，安湾头村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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