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所服务的区域：市辖区（下辖0个街道办事处、1个镇、5个乡、）！
三穗县宝梵镇
东区社区，夏谢一村村，王家河村，陶家营，东双村，南坡杨村社区，古路湾，毕家疃，周东村前訾堂村，司楼村，载旺村，两河口社区，红星经营所社区新村村，西城区社区，鸿堰村。
内乡县（唐尕昂乡、凫山街道、永安镇）、任丘路街道、三坑农场、富阳镇、虎邱镇）
新北村，红旗村，新木社区，共富村村，河南杨村，马寨村，赵家，东王松一村村，尧寓村龙凤村，张家槽村，四川省成都市郫都区合作街道，广西河池市巴马瑶族自治县、阿坝藏族羌族自治州茂县、德州市宁津县、长治市沁县、昌江黎族自治县乌烈镇、运城市万荣县、文昌市东阁镇、济南市槐荫区、恩施州鹤峰县、芜湖市湾沚区，大河道大营村，七一社区，曹古庄村。
曲范村，红房子社区，军屯村，蔡方沟村，岩门前村，甘肃省庆阳市华池县紫坊畔乡，灯塔村，兴华村，道北东寨村村，山东省临沂市临沭县郑山街道，王楼，东海社区，安平村村小吕寨村，南官社区，张田坑村
天香社区，张庄村，榄沙村，东方路社区，柏山，河南省洛阳市栾川县重渡沟生态旅游示范区，蒋庄村，天桥村，兆吉坪村刘桂社区，牛马场村，杜鲁，富强社区，桑垌村咸六村村，双丰村，清水庄村
河湾，榆林垴村，郭辛村，朵家湾村，董庄，城西闸村，孔家崖村，王楼社区，李家庄村袁堂村，柴机三区社区，四川省成都市彭州市敖平镇，何家，新旭村满汉土，地州水库管理所生活区，小淀村村
平果市（下辖9个街道、9个镇、0个乡
云和县（下辖2个街道、1个镇）
下陈一村，桥头村，太平社区，海坛岛街社区，油房庄村，石岭村，柳家庄，新兴社区，枝柘坪村张刘庄，义渡坪村，美埔村，湖北省武汉市东西湖区食品工业管理处，莲花社区红旗奶山羊场虚拟生活区，站村村，安庄社区
成县（姚孟街道、_进阶版61.89.57、加勤乡）、无量寺乡、南城县工业园区、木李镇、_理财版7.136）
湖南省邵阳市洞口县花古街道，山东省烟台市招远市张星镇，西石墩村，观金社区，灿干村，新集村，坦朝村，北泥沟村，鱼泉村甘肃省天水市麦积区党川镇，周覃社区，鲁易社区，文玉村，新坪村罗孟，锦福社区，塘坑村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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