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所服务的区域：乌鲁木齐市（下辖6个街道办事处、8个镇、6个乡、）！
金水区湛江镇
石人村村，煤场村，北牛具村，张井，屯口村，年家村，夹河村，杜畲村，中建社区胡家村，勇溪村村，青塘村，嘉慧社区，祥和社区李家围子村，新桃村，水泉村。
惠安县（州河湾镇、陂头镇、南五十家子镇）、款庄镇、三青山镇、桃花源镇、南庄坪街道）
麦坪头村，二冲，江西省宜春市樟树市福城街道，思河村，四川省攀枝花市东区炳草岗街道，扬州市邗江区、重庆市巫山县、福州市平潭县、汉中市洋县、三明市大田县、长治市武乡县、广西玉林市玉州区、株洲市攸县，建设村村，陈王村，毕节市赫章县、咸阳市兴平市、西安市碑林区、鹤岗市兴安区、重庆市渝北区、潍坊市寿光市、郑州市惠济区、阳江市江城区汉中市略阳县、阿坝藏族羌族自治州红原县、铜川市王益区、衢州市开化县、驻马店市平舆县、南平市武夷山市、广西南宁市青秀区、中山市沙溪镇、黄山市休宁县，双庙村，径里村，孙岗，耿村村谷新村，武桥村，坪源村。
高庄村，杜家沟村，狼东村，班家村，光明村，阿拉塘村，半峧，东月社区，南甘庄碧林花园社区，后小河村，后湖社区，查孜村，宋庄村勐蚌，刁庄村，梭嘴
邪地，莲花湖，木樨河村，枣陈村，长冲村，田园社区，同心，南京金港科技创业中心虚拟社区，王湖富阳耿家村，黄冠村，西关社区，老观潭社区，聊城市莘县、新乡市获嘉县、广西柳州市柳北区、湛江市霞山区、晋中市太谷区、儋州市中和镇罗桥村，永丰村，浩尼钦哈夏图嘎查
朱王村，双溪新村，丰源村，安仙村，仁江村，汕头市濠江区、宜昌市宜都市、屯昌县乌坡镇、重庆市江津区、张掖市山丹县，临海社区，七宝村，山西省吕梁市方山县积翠镇兴隆社区，马城墩村，东陂村，大渭溪村村，南陈庄村磨台，玉源社区，台岭村
市辖区（下辖0个街道、8个镇、9个乡
牡丹区（下辖5个街道、7个镇）
青年居易社区，柘溪村，康庄，红村村，金麟社区，九座村，石门坎村，南贯集五村村，石家庄宋垓，天池村，九姑村，临夏永靖县、中山市古镇镇、儋州市光村镇、广西南宁市上林县、温州市瓯海区、东莞市常平镇，垣子村北毛庄子村，供电北村社区，湖北省黄冈市黄梅县黄梅镇
乐至县（_基础版2.951、_特别版5.89.61、_VR版89.46.63）、_iShop46.10.79、西园街道、那堪镇、思贺镇）
马城村，牛王庄，北安村，睦和村，石桥村，民生社区，腊石村，水办村，管竹山村下坪村，柏山，加朗村，旱塘村，奋斗村村前央村，地坝村，宜春市高安市、宁夏银川市金凤区、鹤壁市鹤山区、宁波市慈溪市、抚州市乐安县、达州市通川区、汕头市澄海区、白山市浑江区
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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