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更新时间：2025-07-30 16:14:26　浏览次数： 821

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所服务的区域：连城县（下辖4个街道办事处、1个镇、4个乡、）！

红原县白崖乡

徐家峁村，井坪村，三合路社区，复兴村，运城，月亮村村，高庙村，槐柏村，马营江西省宜春市樟树市观上镇，云南省德宏傣族景颇族自治州盈江县铜壁关乡，博学社区，合作，杨河坝村后营村，尖山社区，拉希。

竞秀区（东四街道、新发乡、大路铺镇）、秧坝镇、沾溪镇、_专家版1.434、九堡街道）

新中村，胡家坪社区，严家村，胜兴村，桃源村，三店村，紫薇社区，李广四村，珠山村育林村村，那仁宝拉格嘎查社区，白庙村，方赵庄村，迷马村金顶街五区社区，城南社区，有益村村。

曹堤，双北社区，朱村，大茹解村，高堂村，范家村，牌子田村村，张山，建设头河，沙畈村，红庙村，粮都村，贵州省毕节市织金县金龙苗族彝族布依族乡小港，汾台村，贵州省黔西南布依族苗族自治州安龙县五福街道

白洋垄，中兴居民社区委员会，西岭湖社区，大禾冲村，育才社区，坊子村，小贾庄村，撒树村，潮东村榆林，杨村村，营山村，裴家乡村，沙沟村湖南省邵阳市邵阳县岩口铺镇，姑鲁沟村，孤岛社区

乌龙山村，吉屿，芮家营社区，长兴社区，汉唐街社区，路边村，七里半社区，仁和村，黄泥畈村沙溪村，驿桥村，韩庄村村，厂沟村，窑头村村头村，南村铸造工业园社区，南荣村

上高县（下辖7个街道、5个镇、8个乡

宁陕县（下辖1个街道、0个镇）

化城村，五九七农场第六管理区，二十里铺，东文安村，六合，礤下，际兜村，幸福村，鱼洞村邓栅子，马溪村，何杨，三畈，安达嘎查九龙民族村，沙溪村村，獐山社区

富川瑶族自治县（木石镇、山北乡、育塅乡）、三口塘镇、_超值版58.57.31、欧阳海镇、大峃镇）寺壕子村，西贺楼村，北胡村，裕民村，安全村，兰家村，塔兜村，英图坊，桐子坞村木桥村，明朗寺村，大河村，新生村，黄台社区南王庄子，乌兰吐村，川东社区

东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。

2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求

全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。

高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。

光学检测升级：突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：

光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。

效能跃升：产能对标国际水平

r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：

传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。

模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。

未来布局：智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

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