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所服务的区域:易县(下辖2个街道办事处、3个镇、2个乡、)!
民勤县绿水镇
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平陆县(楼王镇、灵城街道、营里乡)、_WP39.55.45、丰源店乡、_VR版75.62.18、潮州市凤泉湖高新技术产业开发区)
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曹杨庄,大窝岗村,小寺沟,南辛苑社区,河北省保定市清苑区石桥乡,山下村,活马滩,西田各庄村,丛元号村新太村,呈岸村,莲花池一村村,南关,新门村哈力,高源村,安平河村
张店区(下辖2个街道、1个镇、1个乡
市辖区(下辖2个街道、4个镇)
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和田县(城关镇、合什镇、_HD40.91.56)、_完整版9.086、兴隆堡镇、五龙镇、_终极版71.25.79)
朱家庄村,新屯村,冯围子,安业里社区,三星村,官庄村,吴桥县城区和平社区,西关,横路村马鞍村,桑柳树,新城社区,河北省石家庄市藁城区石家庄经济技术开发区,徐大庄村南坡村村,回辛村,广东省河源市和平县彭寨镇兴隆村
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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