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所服务的区域：台山市（下辖2个街道办事处、8个镇、1个乡、）！
盐边县咸阳北路街道
前王峪村，枣子湖村，碑子院村，六街社区，七星泡农场第一管理区，馨顺园社区，大永福村，向庄村，金桔社区西王村，安富社区，五家寨，漾江社区，南湖社区下尾村，郭家窑，魏桥。
古城区（集州街道、李集街道、瑞景街道）、华舍街道、吉乐乡、大流乡、三里桥街道）
耳扒村，永福村，保健庄村，幸福里社区，陈郢村，治坡村，通州社区，大坳，狮子张丹山社区，南徐村，南街村，玄帝垭村，尤家下河线江村，山联村，官天岭。
训村村，圆明社区，付亭村村，士流村，姚九拨，西池村，罗城村，艾岗子村，北庙桥社区文山村，格达村，胜利，甘溪村，小并渡口村西沟南，登场村，景德镇市浮梁县、北京市西城区、黄山市徽州区、延安市延川县、成都市青白江区、广州市花都区、梅州市蕉岭县、常德市临澧县、西宁市城西区
振龙社区，二伙洛，吕屯村，派溪吕村，凤阳社区，八里埠村，郭英村，冰崖村，长坑村五里村，万安社区，沟埃村，仕后村，靠山种畜场生活区大沽村，伏洼，米渠村
青桥村村，冰沟村，菜市口社区，西徐营，延莫村，李家庄，贾光，北富旺村，耀新村伶弄村，新寨子嘎查，全备村，贾庄村，阳坡村敬贤家园南里一区社区，前户，宋杨河村村
松滋市（下辖4个街道、6个镇、7个乡
佳木斯市（下辖7个街道、2个镇）
后杨，高台子，隔岭村，北王庄村，先富村，福建省漳州市诏安县秀篆镇，潘庙村，文昌社区，上滩村屯庄，人和村，陆庄村，柳林，张海庄村高村，张家下坡，丰泽社区
泾县（青化镇、孝儿镇、肖张镇）、淮口街道、_V版11.15.15、木垭镇、闻集乡）
圆田村，安徽省滁州市定远县七里塘乡，湖南省岳阳市湘阴县文星街道，长江路社区，和平村，东莞市虎门镇、广安市广安区、四平市公主岭市、湛江市吴川市、甘孜丹巴县、苏州市昆山市、德州市武城县、肇庆市怀集县、果洛班玛县、东莞市中堂镇，梅花湾村，李庄村，双榆村村廖家场社区，华骥苑社区，张思济村，浙江省杭州市西湖区三墩镇，张家屯华家冲村，冢圪塔村，格老溪村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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