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所服务的区域:颍上县(下辖6个街道办事处、5个镇、2个乡、)!
曲水县石桥乡
单仓口,娄家沟村村,铜凉村,坐椅村,西江源村,双华村,天鹅社区,南流罗,古尧村濑贡村,东城新村第五,新村村,林奥嘉园社区,双丰村汉塘,坪厂,油坊庄村。
鸡东县(雷家碛乡、东风镇、河市镇)、夏集镇、河北河间经济开发区、江南乡、利国镇)
大延东村,新兴村,高丰村,胡桥村,山口街,百合社区,互助村,新建村,南村村前彭拐村,山后孙家村,塘泾桥社区,四兴庄,刘育村北午芹村,关庙山村,郭家寨村。
浪堵村,白集村,第二作业区生活区,楠坪村村,马鞍村民,桥坝村,左奕村,户村,渤垌村南洲社区,排山村,欧力村,五一村,牛山村利全,庆丰村,斗南村
曹龙化村,李家口村,坡李村,老庄,深田村,耿墩村,江根村,大坝社区,于王屯强宜里社区,日新村,新大桥村,三坑村,陈堂村第二,大陆桥社区,马壁
丰台沟村,云亭社区,南阳建村,内蒙古清水河工业园区虚拟社区,三蒙社区,努很格勒嘎查,小玉村,周北村,锦园社区高坎子,新厂社区,西许村,小源村,花秋村竹林坪村,李家庄,黎明村
孙吴县(下辖4个街道、8个镇、3个乡
城关区(下辖9个街道、2个镇)
南王庄村,高绍村,光裕堡村,曹家村,正寺村,台上村,龙潭村,西关,柳合束新村西黄野池村,北头营,首师大社区,岭下村,赵家坎村张庄村,葛家村,牛氏庄
凤城市(济源路街道、马营乡、皇后乡)、如城街道、日当镇、观音寺镇、甘棠镇)
训口村,四门村村,十字沽村,北章村,下五井西村村,高庄村,湖槟社区,藤里村,玛拉沁社区西善花苑社区,梅家坪社区,荷叶村,青松村,桥头堡社区吴锦社区,新城村,凤翔村
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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