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所服务的区域:浑南区(下辖3个街道办事处、7个镇、6个乡、)!
余干县谭桥街道
佛堂,新阳社区,金葫社区,薛坊村,新土界村,坪埔村,双跃社区,天星村,接垴畦村刘羊羔,华润·凌江社区,聂村,豪山村,春风村白云村村,南文社区,城连墟村。
安多县(宣武街街道、龙南乡、船滩镇)、大张家庄乡、鸾山镇、大兴镇、拉乌彝族乡)
花木村,齐岗村,洒大庄村,庙沟村,石峡村,华东村,普陀四村第二,黄金村,广元堡社区西王庄村,北元产村,兰官屯村,后蜂李村,桶子村闫山,松树地,李中荣村。
仁寿山社区,幸福村,小街一队村,城北社区,兴港村,定福庄,十里铺村,同坝村,南集马坝村村,卧佛社区,红石支路社区,班卡,麻路后棘坨村,李庄,后沟村
祝庄村村,松林村,秦庄村,赵家村,平章社区,胡庄村,康木车村,陶家村,五村村东街,潘李村,王家店村,翁达卡村,铺门前孙东村,九龙口村,马山子村
团结村,饶里村,大宽村,溪苑社区,祥和里,宋江社区,新寨,宝塔村,八里庄稻香社区,下郇村,大营,杨溪社区,白音高洛村治海村,光明村,大龙村
门源回族自治县(下辖1个街道、8个镇、6个乡
市辖区(下辖0个街道、1个镇)
马和村,嘎佐村,邓家里,隆胜村,环椿坪村,滹沱村,凤岭村,安定堡村,乔庵村潘辛村,菜子村,王岗村,明月,三里庙金竺村,乌盆寨村,南宅科村
新城区(科布尔镇、柞岗镇、布嘎回族乡)、大营门街道、天津路街道、五块石街道、斑竹园街道)
武家屯村,三杨,高家岔村,平等社区,高寨村,沟渠寨村,南傅庄,舍木多,外大河后秦村,棉地村村,西坪,康桥花园社区,仙湖社区油田,北王村,前李庄
东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。
2023年初,东方晶源推出DR-SEMr600,搭配3通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像:5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征:4个侧向探测器支持全角度形貌扫描,显著提升缺陷立体成像效果,助力工程师精准判定缺陷类型与成因,尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化:顶端探测器增强背散射电子信号接收能力,精准捕捉材料衬度差异,满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容:配合高加速电场设计,适配高深宽比结构检测,性能对标国际成熟机型。
光学检测升级:突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求,最新一代的r655通过两项核心改进实现突破:
光路优化:调整缺陷接收光路,缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统:基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm,未来可进一步优化性能。
效能跃升:产能对标国际水平
r655通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:
传输与运动控制:缩短晶圆传输时间,配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取,处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计:新平台具备灵活的可拓展性,支持多个选配模组和升级需求,兼容先进制程的多样化检测需求,确保设备长期技术竞争力。
未来布局:智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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