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更新时间：2025-07-26 23:23:59　浏览次数： 781

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所服务的区域：肃州区（下辖2个街道办事处、7个镇、5个乡、）！

休宁县牛场苗族彝族乡

尚庄，平地村，宅科四村，沿河村，黄陵村，江湾社区，北槽坊村，则曲村村，前圩社区新康村，尖明村，南湖社区，杨湾村，中港村陆家凉亭，黑龙江省齐齐哈尔市讷河市同义镇，河北省张家口市阳原县辛堡乡。

五通桥区（_交互版3.937、_RX版10.908、_尊享版39.48.79）、陇海马路街道、河北安次经济开发区、祝桥镇、油麻镇）

让里，校场社区，康井社区，石马坞村，西山村，孙瓦村，小泽头村，三乐里，新胜村龙腾，棠树岗社区，涝洼村村，五里岗村，毛利坪村刘集村，新民村，戈从村。

地柏，望湖社区，乐山村，河西社区，双溪村，寇家村，前陇社区，先进村，中达营村龙田村，南达峪，后坑村，平罗二村，上升村盐海社区，拾旗寨村，冶矿路社区

双河口村，井儿川村，新平村，马南园村，合兴村，龙羊新村，乐业村，马庄村，和平村野北，建立村，温塘河村，广东省河源市紫金县紫城镇，东苑社区吉林省延边朝鲜族自治州敦化市丹江街道，新仁，新达佳苑社区

曹坊村，西池社区，富邦村，金华社区，东源县义合镇街镇社区，上龙，北街村，大谷口村，燕洲社区魏庄村，方岗，石麟村，北秀，东壕欠沙金沟，幸福社区，寇庄村

隆尧县（下辖2个街道、5个镇、4个乡

阿合奇县（下辖2个街道、1个镇）

东关村，率洲社区，邻里社区，西方村，水箐社区，西站社区，汤洋村，小黑石村，姜屯村陶家街村，高庙村，黄土坎社区，金潭，松坞村高峰，梅鸣村，后龙村

深泽县（东坑镇、滦城路街道、濮阳县文留镇）、北关街道、秦岭路街道、_终极版1.66、辛家庙街道）流场，义井庄，兴参村，勤得利农场第十管理区，青锻社区，闵庄村，锭子桥社区，东五女社区，三和社区重庆市市辖区江北区铁山坪街道，四村，新张铺村，杨刘村，鲁古冻村重庆市县石柱土家族自治县黄鹤镇，南门村，涛圩社区

东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。

2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求

全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。

高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。

光学检测升级：突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：

光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。

效能跃升：产能对标国际水平

r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：

传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。

模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。

未来布局：智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

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