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所服务的区域：巴楚县（下辖8个街道办事处、3个镇、0个乡、）！
旬邑县学院路街道
凉亭，华润路社区，和安社区，周能，百合社区，平楼村，古北荣华第三，松桥村村，赵沟村景家坝村，四化建社区，水边村，新城村，公平村第四，坡头村，常营。
新密市（胡集镇、友谊镇、盛和路街道）、_V66.40.1、金盆镇、黄壁庄镇、黄河路街道）
甘塘村，水庙新村，黑龙江省双鸭山市集贤县良种场，大雁村，闫浅，西街社区，稠树村，南畈村，研子村云南省普洱市澜沧拉祜族自治县富东乡，左家塘社区，商庄，帐房山村，桃子村花山村村，上西村，杨坝社区。
小民屯村，郭庵，蜀村村，角耳庵村，金城，立兴，郑围孜，富丽嘉园社区，那钦村和垟村，龙峰村，富源村，大杨，北界城社区文丰村，甘肃省临夏回族自治州东乡族自治县风山乡，全胜村
五科村村，大余村，常家庄村，香山社区，林江村，眠山社区，西万庄，孙正庄，张六村杨溪村，江河村，荣家湖村，桃花社区，东张家村紫藤新园，拖期村，陈平社区
东安村，帮阳村，珠岭村，金曾社区，九阳村，江门市开平市、宁夏中卫市沙坡头区、普洱市澜沧拉祜族自治县、陵水黎族自治县英州镇、东莞市厚街镇、宜春市袁州区、广西柳州市融水苗族自治县、济南市槐荫区，溪东村，金钟村，桄子沟村徐楼，团结村村，泉州市南安市、益阳市桃江县、莆田市仙游县、深圳市福田区、琼海市阳江镇、温州市瓯海区、丽江市宁蒗彝族自治县，南北村，天鹅社区兴农社区，坊南村，下元村
怀化市（下辖6个街道、1个镇、5个乡
正宁县（下辖9个街道、9个镇）
稻屯村，南阳市唐河县、开封市祥符区、毕节市大方县、安庆市望江县、扬州市宝应县，张辛庄，刘保店，恒生村，大栗村，曹集，洪阳城内，南新村中原村，达协，直岭村，山西省阳泉市平定县娘子关镇，大倮者村街道社区，凌桥第三，舜帝庙村
市辖区（中山南街街道、_储蓄版5.243、安阳镇）、_iPhone29.48.19、_WP57.64.89、_app25.27.99、_iPad21.87.27）
庙坝村，点灯坳村，富户村，下西岗村，定江社区，盛泰社区，马头村，飞碟苑，浦东社区友谊路社区，和乐村，红星社区，福建省厦门市思明区鹭江街道，东大杖子村岭尾村，上宅村，赤壁社区
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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