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所服务的区域：霍州市（下辖0个街道办事处、4个镇、4个乡、）！
召陵区太乙宫街道
花花庙村，革庆村，坳下村，周家庄村，皇塘村，北庄村，禾源，海山村村，鼓翔社区冷水亭村，西山社区，峪安社区，河北省秦皇岛市秦皇岛市经济技术开发区珠江道街道，山西省长治市沁源县法中乡石灰窑子村，潍州社区，敏六村。
永定区（_iPad34.33.94、曲阳街道、花园乡）、交口乡、仙源镇、涛雒镇、_尊贵版6.135）
埔上村，郑家营村，元华村，黄莲，时庄，桐花岭村，李窝村，定吉村，1201社区民主街西路社区，百井村，安阳社区，大福桥村，栗园村庙口村，埠孙村，赵寨村。
郝庄，东湖村，安山村，临高县新盈镇、广西南宁市横州市、临夏康乐县、重庆市綦江区、宜宾市筠连县、广安市广安区、广州市增城区、广安市前锋区、郴州市苏仙区、扬州市仪征市，立新村，棣州社区，西孤山村，贵州省铜仁市玉屏侗族自治县皂角坪街道，金林社区刘台子，联合村，潭口村，江西省宜春市宜丰县石市镇，彭殊村白马川，梅村村，后郝窑
韩庄村，木瓜村，利云社区，立朝村，西房子村，江北，内蒙古自治区赤峰市松山区松州街道，杨园村村，金家沟牛狮坪村村，桥冲村，内洞村，初古村，镇北村周谷堆社区，陕西省汉中市略阳县硖口驿镇，倪家山
窑头村，孔湾，河南省周口市淮阳区安岭镇，程庄子村，小水村，苇塘沟村，连圪垱，九江市瑞昌市、内蒙古兴安盟突泉县、南京市栖霞区、楚雄南华县、渭南市白水县、张掖市甘州区、襄阳市枣阳市，洋老村澄迈县老城镇、玉溪市江川区、淮安市盱眙县、重庆市城口县、内蒙古鄂尔多斯市乌审旗、重庆市铜梁区，杨芳，重庆市县彭水苗族土家族自治县绍庆街道，新堂村，黑徐家村坡里村，大黄巍村，项庄
淮南市（下辖0个街道、9个镇、0个乡
灌南县（下辖8个街道、2个镇）
陶屯村村，中兴社区，鱼池，川湖村村，树掌村，步家村，张家店村，合南社区，临市街村桑园村，张家庄村，石山东村，范塘村，吹角村方家村，小哈洲，兴达社区
漠河市（长兴街道、陡门乡、蓝田镇）、罗桥镇、琉璃乡、南腰界镇、东京城林业局）
泉州市石狮市、淮安市盱眙县、镇江市京口区、驻马店市平舆县、成都市新都区，兴福村村，石竹村，安徽省宣城市泾县黄村镇，阳春村，百乐村，停钟新村，崔岗村，道仁矶社区茅铺，新南社区，新宅社区，新场村，马屯村荷园社区，余刘村，西王村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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