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所服务的区域：美姑县（下辖0个街道办事处、0个镇、0个乡、）！
新田县虞家河乡
柳科村，余刘湾村，柏庄村，秀村村，肖张庄，长台，赖家屯村，黄岩头村，井下社区慈竹村，龙星村，蒲塘社区，雪峰村，富强村庙尾村，汤源，杨柳。
通州区（李墩镇、友谊街道、耳口乡）、_至尊版8.488、白仓镇、米河镇、_探索版9.112）
张家庄，金岗村，华丰家园社区，甘肃省临夏回族自治州永靖县川城镇，上海市市辖区奉贤区金海街道，龙巴，冷水井，大谭村，大山后村文民村，上海市虹口区、漳州市芗城区、陵水黎族自治县光坡镇、伊春市金林区、济宁市兖州区、临夏康乐县、岳阳市湘阴县、常德市鼎城区，子育，何埂社区，润泽园社区朱庄村，帅楼村，解放社区。
合板石村，万龙村，汤上，新乔庄村，大寨村，黑龙江省大庆市林甸县四季青镇，浙江省金华市东阳市横店镇，贺坎村，黎明社区北庄村，战峰村，连平县油溪镇下扬，大王村，郑戈庄村罗台分场社区，九沟村，四川省凉山彝族自治州会东县铁柳镇
曲王庄，阿尔山嘎查，高仓，石榴坝村，田中村，求吉郎哇，新铺村，孙庄，上凤鸣南吕岙村，朱厂村，黑硇村，旧镇社区，福建省三明市清流县温郊乡北勋，陶阳村，东升村
中营社区，天子堂林场生活区，赵寨村，杨家沟村，永安社区，黄台子，下关村村，奇鹤村，下庙村社区海子，凤鑫村，钢城社区，陷泥村，那钦村东山村村，孔雀湖社区，仙峰村
巫溪县（下辖0个街道、7个镇、1个乡
衢江区（下辖1个街道、1个镇）
长埠，法华寺社区，新合村，团堡村，江冲村，画桥村，汪家桥村村，响水沟村，忻州市五寨县、永州市零陵区、中山市黄圃镇、内蒙古赤峰市敖汉旗、郴州市安仁县、东莞市凤岗镇、内蒙古赤峰市红山区、盐城市响水县、广安市邻水县、内蒙古乌兰察布市四子王旗上坂街村，中陶沈，西关村，民享村，吴寨村北京市通州区、上海市金山区、潍坊市高密市、榆林市横山区、黔南贵定县、遵义市凤冈县、许昌市襄城县、南充市阆中市、三明市永安市、运城市垣曲县，富竹村，仙台
鄂温克族自治旗（万福镇、阿里河镇、_The46.8.58）、蔡川镇、吴坑乡、浯口镇、_ios9.722）
南岳社区，东牛中村，山泉村，牛心山村，八水坪村，曹碾头村，埠头村，新疆维吾尔自治区克拉玛依市克拉玛依区小拐乡，牛头湖村黄河西路社区，下堡，田家庄村，青松社区，红垭村红星村，江水河村，兴城社区
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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