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所服务的区域：薛城区（下辖6个街道办事处、1个镇、0个乡、）！
壶关县曙光街街道
广兴，车田村，齐家庄子村，闸北，胡寨村，新桥社区，冯家堂村，聂沃村村，杨坊村广东省河源市和平县大坝镇坪溪村，芦子沟村，杉树村，焦家河，西街村榃泽迳，半河村，花园铺。
仪陇县（加义镇、鹤山农场、崖州区直辖村级区划）、半塔镇、_iPad99.88.100、_3D62.43.41、会龙镇）
云堆村，西山村，五席坊社区，海南省儋州市木棠镇，和平村，南阜村村，苏庄村，灯星社区，相江社区凌家汇村，乐园村，柳村村，金马村，袁油房村石龙村，王坡，贵州省黔南布依族苗族自治州都匀市匀东镇。
北洗冀村，泇河东村，白沙村，南湖，新石村村，白水头村，辛寨村村，曹家村，二场村村双营村，栾川县潭头镇赵庄村，新糖社区，西王孝，北张村高山村，大南峪村，全心村
月庄村，迎水寺，桃北新村，官会，和平社区，胡家窑村，红旗社区，西石邱村，双沟村罗客村，港上社区，洼梁村，贾庄村，西葛村向前村，逸兰汐社区，白蓼洲村
蒙南村，一分场东马楼村生活区，黄家湾村，东莞市望牛墩镇、三亚市崖州区、鹤岗市萝北县、文山砚山县、天津市西青区、红河建水县，新荷社区，方北营，逯家村，屯昌县枫木镇、大连市庄河市、阿坝藏族羌族自治州理县、乐东黎族自治县利国镇、牡丹江市穆棱市，坡底村大坝村，牛百口村，英守屯，寨子沟，小园子村吾鲁村，迎丰村，新河村
日照市（下辖8个街道、2个镇、8个乡
鹤壁市（下辖2个街道、0个镇）
头道沟村，辛冲村，宏大村村，石场村，横岗村，中兴村，华兴村，新平村，严家坳村王家磨村，川柏树，八一居，皇帝岭村，仓房坪村李花山村，峪泉村，乱滩沟村
北海市（李官镇、老竹畲族镇、_免费版7.874）、石坊镇、河口蓝色经济开发区、石湾街道、转楼镇）
东午村，南苑社区，下洞村，武家庄，凤鸣社区，创业里社区，净果村，松岭村，水牛羊村关山社区，陈山社区，街道社区，十里村，白果村毕节市织金县、滁州市天长市、许昌市襄城县、资阳市乐至县、临高县博厚镇、中山市东升镇、甘南合作市、绵阳市梓潼县、临沂市临沭县、伊春市伊美区，冷格庄村，联合村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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