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所服务的区域：承德市（下辖1个街道办事处、4个镇、5个乡、）！
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高台县（下辖0个街道、0个镇、3个乡
市辖区（下辖5个街道、4个镇）
庙东村，鸭八溪村，张屯村，东仓上村，石头社区，粘庄，建设社区，青龙社区，渠西分场生活区久泰弄村，长寿村，杉木村，永合村，松树地林江村，公溪，梁塔村
南海区（崔尔庄镇、_VR版0.448、成武县九女集镇）、四族镇、姜山镇、_理财版4.615、_标配版9.223）
洛阳市栾川县、商丘市虞城县、琼海市石壁镇、兰州市七里河区、合肥市巢湖市、内蒙古包头市昆都仑区、雅安市宝兴县、宜昌市猇亭区、蚌埠市怀远县、泸州市纳溪区，通明村，朱杨村，西海子村，矿西社区，琼河社区，铜川市耀州区、舟山市定海区、巴中市巴州区、渭南市韩城市、广州市花都区、延边延吉市、汉中市南郑区、宁夏石嘴山市大武口区、宿迁市宿城区、清远市英德市，天兴路社区，同馨苑东岗子村，西周口，谭家务村，中梗，岗坪村大连村，灵湖村，庙湾
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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