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所服务的区域：梨树县（下辖3个街道办事处、3个镇、7个乡、）！
仙桃市金集镇
阳关村，孙家坡村，龙防村，草庙，冯寨，广西梧州市长洲区、广西崇左市天等县、合肥市肥西县、威海市文登区、盐城市建湖县，盘龙村，菜子村，天星村双庙，盐城路社区，百里村村，凤凰社区，于庄重庆市市辖区巴南区南泉街道，郭桥，佳龙村。
蚌埠市高新技术开发区（_试用版7.2、长寿镇、高罗镇）、革新街街道、红旗街道、吉尔孟乡、_4K版40.345）
尚卡村村，呼家壕村村，大河社区，郭家老庄村村，金鸡村，大湖嘴，学田村，八家子，河石坞村田西村，华浦社区，享堂社区，北街，桃源社区兴湖社区，秀金屯村，东孙楼。
永治街社区，冯八峪村，面罗溪，安堡，南关社区，北霍村，高山井社区，春生村，岛安林场生活区南桥头，三分场村，十二村，江苏省南京市浦口区盘城街道，北阳花园社区，新兴村，南湾村
宝华社区，河南村，白羊关，三合村，柳庄村，金谷园社区，倪家段，三车社区，西卫村扎多，李寨村，宏林村，新博社区，古巴村马曹庙社区，盛源村，金龙社区
姜古庄村，安徽省阜阳市太和县关集镇，坡赵，白马村，叶庄村，赵村，龙造窝村，兴湖村，鞭张庄东腰站村，新农，河南省鹤壁市鹤山区中山北路街道，尚义巷社区，富城社区华家冲村，韦桑社区，红仁社区
旺苍县（下辖1个街道、1个镇、2个乡
开原市（下辖1个街道、2个镇）
观堂村，洛哈村，联塘村，南街，张柳村，水塝社区，法台村，碧桂园社区，东梁王庄一下槐，广福村，侯三家子村，东孝义村，大贾庄达布村，等子社区，段潭
荆州经济技术开发区（邓庄镇、新华乡、_PT44.49.14）、安宁堡街道、牌头镇、新滩镇街道、北林街道）
瓯桥村，茶房，小米塘村村，魏海联村，茨园张村，中营社区，胡沟村，五岭，后庄村黄楼社区，广西壮族自治区梧州市万秀区夏郢镇，龙山村，杨泗屯社区，南通市如东县、广西来宾市兴宾区、恩施州来凤县、丹东市振安区、凉山德昌县、毕节市七星关区、黄石市阳新县、揭阳市惠来县、汉中市南郑区、晋中市昔阳县龙街村，民建村村，峁堡村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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