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所服务的区域:屏边苗族自治县(下辖8个街道办事处、9个镇、8个乡、)!




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壕畔村,泉头村,王杨村,半山村,郭辛村,海康社区,望江社区,新建西社区,航华二村第四太平社区,龙相村,团山子村,新建村,幸福里第一社区新城庄村,陆马白,大阎庄村。







甘泉县(小屯镇、南苑街道、孟家岗镇)、_储蓄版3.39、柴胡店镇、_The10.27.38、秦陵街道)




马坊店村,梨园村,江苏省淮安市涟水县唐集镇,东兴社区,麒麟畈村,苏州市相城区、恩施州咸丰县、黔西南贞丰县、文山西畴县、广元市苍溪县、沈阳市康平县、太原市古交市、杭州市余杭区,易水,李庄村,八里村戚庄村村,王崔浒,枣林朱村,李家峪村,石庄村张都,雅桥村,马蹄。








西纪各庄村,达沙村,爱强村村,汉王庙社区,尖川村,新港,浒井社区,新民村,沙坪村蒙亨村,大桥头,苍霞村,宫后村,坪上村连平县油溪镇蕉园社区,平阳村村,朝阳社区







荣花村,关山村,四眼桥社区,曹集村,朱圩村,张寨村,錾字石村,榕津社区,绵良村前湖村村,湖北省武汉市青山区白玉山街道,河北省石家庄市灵寿县岔头镇,欧咀村,蔡墩村中曲村,南石庙子村,广西壮族自治区河池市大化瑶族自治县贡川乡









西正社区,观音村,刘巷村,孟王村村,禹香苑社区,皇路河村,安居里社区,学院社区,江西省宜春市樟树市永泰镇绿茵河畔社区,古城社区,二七九社区,普奴村,西地房子达斡尔族杏垭村,南山坑村,牛路村









普定县(下辖5个街道、5个镇、9个乡









密山市(下辖5个街道、1个镇)







龙镇农场第三管理区,庄头村,龙桥社区,穆家,山西省晋中市寿阳县景尚乡,乔沟村,斯尼村,李砦村,建设村安村村,向阳村,杨屯村,甲院社区,岩庄店村太湖村,岭尔上,石桥头










宽城区(井坡镇、板桥镇、罗坝镇)、大田集镇、三江镇、李恒镇、茶山坳镇) 马家塬,西邢村,官桥村,龙观社区,转心湖村,下浦村,黄河路社区,青杨村,西营神通庵村,平村,梅庄村,新祥符街,兵营铺村雷坪村,汤庙,头洞村

东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。

2023年初,东方晶源推出DR-SEMr600,搭配3通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像:5通道探测器覆盖更广泛的检测需求

全方位缺陷表征:4个侧向探测器支持全角度形貌扫描,显著提升缺陷立体成像效果,助力工程师精准判定缺陷类型与成因,尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

材料衬度解析优化:顶端探测器增强背散射电子信号接收能力,精准捕捉材料衬度差异,满足先进制程对多种应用场景的需求。

高深宽比工艺兼容:配合高加速电场设计,适配高深宽比结构检测,性能对标国际成熟机型。

光学检测升级:突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求,最新一代的r655通过两项核心改进实现突破:

光路优化:调整缺陷接收光路,缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

深紫外光源系统:基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm,未来可进一步优化性能。

效能跃升:产能对标国际水平

r655通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:

传输与运动控制:缩短晶圆传输时间,配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取,处理速度接近国际一线设备。

模块化扩展设计:新平台具备灵活的可拓展性,支持多个选配模组和升级需求,兼容先进制程的多样化检测需求,确保设备长期技术竞争力。

未来布局:智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

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