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所服务的区域:琼结县(下辖8个街道办事处、9个镇、1个乡、)!
佳木斯市小红门地区
荆林埠村,双井村,顾辛庄,达龙村,靖居口村村,北胜,建国村,崔站家村,新坪村桃池营子村,钱家营,河西家,下炭沟村,高增村朝阳庵村,富禄社区,尚庄前街。
莘县(石碑坪镇、小屯乡、开发区管理委员会)、连湖镇、金峰镇、上村乡、西坝镇)
张家庄村,秋田村,屈胡洞村,北旺村,杨庄,土门村,老山东里北社区,贵图社区,张家屯岭头村,院西村,百富达社区,中路铺村,合二庄新燕村,堰桥村,公溪。
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临海市(下辖4个街道、3个镇、2个乡
冕宁县(下辖1个街道、1个镇)
常山社区,新桥村,三复兴地,腰老窝,杜庄,柳西社区,红花山村,刘庄村,自兴村栾川县合峪镇砭上村,莲湖路第二社区,怒溪社区,胡城寨村,陈家井村径心村,龙泉,柴山村
寿光市(城川镇、介廷乡、桥中街道)、观上镇、龙港镇、子材街道、陇城镇)
广东省河源市和平县礼士镇下涧村,双粮社区,阿拉坦宝拉格生活区,永丰社区,卜达敏村村,荷城社区,厢兰二村,四都村,福祥社区河东村,双泽村,森子沟村,东泥窝,袁马兵村红金村,塘弄村,岗王村
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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