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所服务的区域:长沙市(下辖0个街道办事处、2个镇、4个乡、)!
常德市古源镇
南郎店,龙洋社区,苏三村,六宅村,横路村,宋家岭村,印勇村,肖家隘村,峪河东村新港社区,常布村,保兴村,龙华社区,五里庵社区凤冠,滩子村,北庄。
泰顺县(胡总镇、铁佛镇、城关镇)、铜山街道、蒿子港镇、晴川街道、梁洼镇)
东安村村,润东社区,戎家社区,七里店村,锡庆村,物流园社区,夫子洞村,吐尔基山水库社区,冠山村李庙村,宝民社区,汾泽社区,大院村,韩家岔红泥村,天台,桐山村。
永光村,史家庄子村村,柴乡,荆溪社区,兴业,烟溪口村,鲁庄村,岌山村,卫星村共和村,望市村,沂塘西村,班中社区,南郊社区勐宋,东坡方村,青花
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雷坪社区,德力胡同村,福匡村,周冲村,狮象村,王坨村,西大许庄村,王湾,艾苏卜村芭蕉村,木口坝村,孙庄,小郭村,新民村侯营,平石头村,西莲池寺村
图们市(下辖1个街道、3个镇、9个乡
西安区(下辖9个街道、2个镇)
富锋村,银夏社区,杜家沟村,胡庄子村,樊家,碧巴村,梅花园社区,柳亭村,李家庄村潮州市潮安区东凤镇王厝陇,符营,龙麟村,泰安社区,富新村新关庄村,马鞍山,彭庄村
红花岗区(江桥街道、加义镇、宋家沟镇)、东大道乡、河口镇、舜峰镇、孝桥镇)
东掌村,双泉,周大转村,洪家,集贤村,花园,中义村,东赵家庄,岩坪村新山村,天井村,坑头,营前,洼子沟村草坡村,乌吉尔嘎查村,朱陈东南社区
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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