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更新时间：2025-07-26 15:44:57　浏览次数： 613

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所服务的区域：沙洋县（下辖1个街道办事处、5个镇、8个乡、）！

白云区_3D71.90.89

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峰峰矿区（古城街道、仙岩镇、如皋市江滨医院）、庞各庄镇、凤凰镇、莲峰镇、古城营镇）

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市辖区（下辖4个街道、9个镇、8个乡

丰县（下辖0个街道、8个镇）

华山村，南岩，马浪头，浍南社区，国和庄村，胜义，龙溪社区，兴隆村，圳头村胜利农场第六管理区，乐利村，殊溪村，鲁庄子村，蔡郢村新华社区，任河湾村，麻窝村

巴里坤哈萨克自治县（大青沟国家级自然保护区管理局、南天门满族乡、油松岭乡）、红庙镇、横溪镇、城关街道、_经典版7.493）陕西省榆林市榆阳区岔河则乡，涌溪村，尹家沟村，凉泉，云南省保山市昌宁县卡斯镇，南涯村，江西省景德镇市乐平市双田镇，太平桥村，锦龙社区潍坊市昌邑市、渭南市蒲城县、广西南宁市兴宁区、定西市渭源县、绥化市望奎县、成都市成华区，罗云村，王轴北，广西壮族自治区百色市那坡县百南乡，许庄村双鹤社区，围垦生活区，高墩庙村

　　科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术，解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。

　　与传统的硅材料相比，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率，可在高温、高电压条件下稳定工作，已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。

　　“目前，碳化硅衬底材料成本居高不下，严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍，碳化硅行业降本增效的重要途径之一，是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比，12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等生产条件下，可显著提升芯片产量，同时降低单位芯片制造成本。

　　据国际权威研究机构预测，到2027年，全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元，年复合增长率达33.5%。去年底，国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。

　　此前，西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求，西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术，将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业，完成了相关设备和集成系统的开发。

　　“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍，与传统切割技术相比，激光剥离过程无材料损耗，原料损耗大幅下降。

　　仇旻说，新技术可大幅缩短衬底出片时间，适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产，进一步促进行业降本增效。【编辑:梁异】

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