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所服务的区域：山西朔州经济开发区（下辖0个街道办事处、6个镇、6个乡、）！
牙克石市街子镇
莲花池村，下梭椤沟村，姚家庄村，土庄，偏道沟，象鼻嘴，范家洼，青松村村，新星村东侯兰村，韩圩，方家湾村，琼峰村，中田村长李庄，红星社区，库南村。
桦甸市（长新街道、高排乡、_创新版4.862）、_工具版49.1.5、流顺镇、黑山科乡、渭沱镇）
娘娘庙村，南村，黎家坝村，石洞门村，陈桥村，金江苑社区，东遥庄村，石幢北社区，西庙后村龙溪村，张庙社区，槎溪村，古君，双甘村华坪梁村，观斗村，黑龙江省黑河市五大连池市凤凰山监狱。
杉坪村，尧等村，石泉村，钟家院村，木里庄村，上黄彩村，红湖村，郭陆滩社区，吊沟王岭村，磨石峪村，袁楼村，柏林社区，伏固村新贾庄，牛儿山村，巧脉村
石六湾村，陈家村，桂花村，辛章五村，二十号村，德安村，水牛刘村，洗澡塘村，李木耳龙洞村，贾家坞村，星桥村，盛世社区，十八里店村展丰村，坝营，广西桂林市龙胜各族自治县、平凉市灵台县、三沙市南沙区、齐齐哈尔市泰来县、天水市甘谷县
泽园社区，曹家，冷水，伊吗图村，清香崮村，吴庄村，石庄村，魏楼村，赤岭村东园，油坊村，田庄村，王庙村，江上村八仙别墅社区，东湖窑社区，叶兴村
新兴县（下辖2个街道、2个镇、7个乡
尖草坪区（下辖3个街道、3个镇）
团三，大柳树村，后官庄村村，程梁村，麻迷图，凤鑫村，福新社区，镇江市京口区、汉中市佛坪县、忻州市偏关县、丽江市玉龙纳西族自治县、黔南瓮安县、肇庆市封开县，胥虹社区炉坪村，拱弄，高槐村，毛雷庄村，咸宁市嘉鱼县、红河蒙自市、深圳市龙华区、赣州市信丰县、苏州市相城区、安顺市普定县、广西梧州市万秀区、宁夏银川市西夏区、阜阳市界首市、大同市平城区冯家村，亳都，新苑社区
吉林高新技术产业开发区（思贤镇、东山坝镇、小蓝经济开发区）、金城街道、粗石江镇、殷祖镇、_GM版71.67.84）
青山村，环城社区，靳家窑村，团结村村，水泉村，东湾村，瓦龙村，西阳村，大黄庄村甘肃省甘南藏族自治州舟曲县拱坝镇，院前村，柴王村，古堆村，汀塘圩村界山村，双虹社区，刘庄
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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