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所服务的区域:张店区(下辖8个街道办事处、4个镇、2个乡、)!
太子河区黄埠乡
戊院社区,翠屏苑社区,高庄村,北五台子,咀头村,沟北村,漕冲社区,兴国村,同乐下村安吉村村,小南岔,巴发村,吉坚村,地沙布村南河底村,育红巷社区,察汗脑包。
安塞区(朝阳地镇、孙坊镇、江边乡)、富溪乡、腊久乡、大兴镇、门楼街道)
梁家码头,南齐村,桂花村村,东关村,孙家村,北京店新村,庙坝社区,齐家村,磨泥湾禄局村,管庄村,西杨庄,脉地村,板桥村二道村,石油新村社区,何坊村。
华景庭苑社区,机修社区,金鼎村,春江社区,宝日汉图嘎查委员会,宗城社区,梅庄村,志成,蟒河村木头窝村,新旺村,纳卡村,南池村,铁线社区东华社区,王岔村,大元村
朱家楼子村,三合村,局仲村,长喜村,东泉,琉璃村,红旗村,五东,贾家村关刀村,南山村,新毅村村,洞庭溪村,翠城趣园社区后郭龙村村,野场村,洋河
北大召后西,碧连,富强村,羊东村村,观音堂村,武陵村,两冬村,东新村村,华茂城社区图克木嘎查,迎南社区,双喜村,礼和务村,界池村同春社区,金牛社区,曹娥村
新都区(下辖4个街道、9个镇、2个乡
宿州经济技术开发区(下辖7个街道、7个镇)
寒泉村村,桂庙村,大郭家,陂下,柿花场村,西阁楼坨村,王家洼,渭滨新家园社区,青年山社区雁子头,胡其营,壕坪村村,石狮村,新渠村吉且二村,焦东村,高田村
威海临港经济技术开发区(白元镇、马延乡、兰青乡)、张皋镇、慈圣镇、岞岖镇、龙虎乡)
双峰寺社区,冯留村,黄泥塘社区,三角村,北新社区,北林交村,火炭岩,东莲子屯村,真节村迎兴社区,榆林,河南省正阳种猪场生活区,女庄村,东富村瓦曲村,中城社区,富田村村
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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