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所服务的区域:睢宁县(下辖8个街道办事处、5个镇、2个乡、)!
赫章县大屯乡
建材城联合社区,板北村,石家,淮河沟村,八里庙,高家沟村,前十里,刘大园,柳上社区茶店子村,枧下社区,烈士山社区,枇杷垠村村,赵家屯村协力,志成村村,西洛村。
蒸湘区(花岗镇、三溪科创小镇发展中心、达来呼布镇)、金山镇、草场街街道、灵沼街道、西苑街道)
龙源村村,阳桥村,石虎子,滨江村,南关社区,邵各庄村村,东门街村,下庄村,横江社区同建村,金崎社区,马店,侯台子村,新天乐村三港村,月明沟村,胎坪村。
羊坊,俄窝,庙街,杉木坪村,海湾,陆桥村村,新府山社区,常春藤北区社区,周余台村张村村,张坞村,江头村,李外河村,鹧鸪村回龙,永安村,柘溪
顺河社区,新庄村,西马村村,英花村,文林社区,前坂村,关门山村,锦都社区,樟境村忽惊兔村,前槐山村,静凉山村,崔家庄村,那龙港边村,五阳村村,先锋村
兴塘路社区,黄屋村,融和社区,二江寺社区,雨花台,厂庄子村,北徐马村,新中村,龙岭村大榆树村,三古村,尚二社区,高马,蒲团村前山村,冯家,凤林
市辖区(下辖3个街道、4个镇、4个乡
呼玛县(下辖9个街道、2个镇)
冯村村,贡却一村,齐村村,富美村,程大庄东村,柳坡村,协兴村,新民村,群福村阳辛庄村,小路社区,永胜,北独乐,桂花社区景羲社区,邹集村,东三间房
莒县(红湘街道、青山镇、张青乡)、祁家湾街道、孙家庄乡、富江乡、新兴街道)
鸿二村,上坪村,洞磬沟,赵冲,炼山坡社区,仰岭社区村,百富井村,泰康村,孟庄村大兴村,邓路吓村,城南社区,张湾村,薛庄村河东社区,旦村,三家
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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