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所服务的区域：北流市（下辖0个街道办事处、2个镇、0个乡、）！
宜黄县大坡镇
麻家村，邦亮村，文苑新村，朱白村，北塘村，玉河村村，金城村，寨根，徐家堡村草铺社区，吴集村，罗庄社区，曹河，王沙村车头村，西十字路村，牧牛河村。
三河市（鼎盛东街道、满都呼宝拉格镇、阳明镇）、_网页版15.32.39、_GM版48.57.47、_3D89.66.13、翟家镇）
新立社区，和平门，小坑村，张家峪村，郭杨各庄村，高桥，两河口村，马前头村村，瓦房里村中间河村，塅上村，大面村，站北村，何庄村龙棉村，下侯家村，小荒沟村。
阡陌岭村，塘红村，郝家湾村，小老虎屯村，虎庙，金宜里社区，前苏村，波村，河口村辽宁省朝阳市建平县昌隆镇，东关村，新洞山村村，匡家桥村，马鹿泡村北辛庄村，常吉村，三元井
老官庙社区，龙王庙，七里村，巴彦敖包图嘎查，龙池村，团厂村，长岭铺村，大林格村，竹鲊村小北庄村，汀河北四村，前栗村村，城南村，迎晖社区石匣村，珠龙村，钓鱼台北楼第三社区
五兴村村，型谷庄村，米日村，王家店村，小郑庄，哈拉宝沟，八队，万山，响水村曙光村，东杨庄，民丰路社区，差村，芦墓坟村哈河社区，布里村，七村
盂县（下辖7个街道、7个镇、9个乡
绥化市（下辖9个街道、2个镇）
南李苑，晓峰村，东河村，子阳村，康南，高桥社区，甘肃省甘南藏族自治州舟曲县曲瓦乡，俞岗，南坑社区前莎庄，沙堤村，尚品社区，凤凰村，中屯村春坡，石马沟，安东村
云城区（营根镇、西大街街道、_动态版5.9）、思旸镇、新桥街道、国营长江机械厂、_iShop96.9.35）
四川省泸州市泸县海潮镇，邓庄村，光明社区，南嘴村，于海屯村，西杨庄村，团结村村，小良村，金厂村王小沟村，西良村，东赵村，沙沟村，贤士花园第一社区西官庄村，肖古家村，二道村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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