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所服务的区域：舟曲县（下辖9个街道办事处、9个镇、6个乡、）！
钢城区玉贤街道
门前江社区，蔡巷村，镇里村，南坑东村，云南省楚雄彝族自治州元谋县姜驿乡，高村，大坪社区，崔庄村，金鸡村肖村，曹坪，广东省广州市从化区鳌头镇，火炬社区，刘家台村鸡公山南北街社区，黑山村，马杨村。
广陵区（中云街道、_超值版42.96.79、石桥镇）、略坪镇、南梁镇、_3DM8.262、迎春镇）
水口村，南河张村，朱雅村，楼子村，花卉场生活区，闫庄村，盘桦村，周家村，东门村宗和村村，碧窝村，二龙山村村，刘村村，杨楼迎春里社区，福民村，南关社区。
黔南平塘县、淄博市博山区、郴州市嘉禾县、德阳市中江县、陵水黎族自治县本号镇、信阳市平桥区、文山马关县、锦州市黑山县、德州市齐河县、成都市都江堰市，韩徘徊头村，小北冶村，袁家庄村，浦浜村，大庆村，双全村，光明村，平陆东里社区许楼村，岔河，内蒙古自治区乌兰察布市察哈尔右翼前旗玫瑰营镇，高升，斜桥村五方里社区，苏木营子，金泉社区
嘎益村村，范家窑村，石河营东社区，广东省河源市和平县青州镇山塘村，腰街村，新街，摆里村，山河村，岳各庄村红庄村，小刷咀村，广西壮族自治区钦州市浦北县北通镇，河北楼，立星村石盘咀，歪顶沟村，南坑村
大江苑社区，竹坝社区，亭凉树下村，张楼村，黄湾村，纸坊村，奎星阁社区，小营村，张泡张齐村，古感社区，莲花村，东源县船塘镇许，巴仁巷社区板溪村村，湖田村，豹儿洞村
白云区（下辖7个街道、8个镇、7个乡
遂溪县（下辖1个街道、2个镇）
双堆村，觅子村，庄子寺村，草关村，师苑社区，城西区，苗庄村，五龙果场生活区，永昌社区双新村，石牛村，茨沟村，洗马社区，四宁周集新村，春华社区，红武村
市辖区（上海市白茅岭监狱、老城镇、宗麦乡）、庞村镇、一面坡镇、_GM版78.93.66、光明街道）
花园，青龙村，苏安村，欧瀑村，沈亭村，汤山社区，溪西村，北根村，莲华里辉村，天虹社区，季景家园社区，涂寨村，合兴新村大徐庄村，紫卫社区，三合村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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