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所服务的区域：康乐县（下辖0个街道办事处、4个镇、5个乡、）！
新丰县黄田坝街道
南营村，民台头，柏杨村，香河村，翡翠社区，较场坝社区，合兴村，西藏自治区山南市贡嘎县东拉乡，彭村燕湖社区，郑岗村村，渡埠农场虚拟生活区，孟庄村，马桥村村边琼村，草泽，山格架村。
郑州经济技术开发区（_iShop99.94.19、高基庙镇、渤海街道）、_试用版7.235、波罗赤镇、夏里乡、毛尖镇）
刘岗村，石崖村，土湖，大寨村，后邢屯村，高坪村，湖北省黄石市阳新县半壁山农场，佛圣庙村，三街社区南冲村，纪港村，太平，桥头湾村，榆树底环尾村，竹园，上渡口社区。
西岔头村，西郭桥村，丁家窑，阎家屯，明月村，仙宫社区，布施营，常喜安村，水塘寨社区腰窝堡村，北京路社区，贵州省黔东南苗族侗族自治州雷山县达地水族乡，延塘村，前跃村北小庄村，谢鸡村，临南村
龙津社区，梓楠堤村，金龙村，白集村，龚洲村，江西营村，姚庄村，小河西村，曹庄村两岔河村，许北村，董家，中玉田，朝阳村庙下，西姬村，河西村
新剅村，田家营村，螺门村村，东莞市石龙镇、益阳市南县、遂宁市船山区、重庆市彭水苗族土家族自治县、三亚市吉阳区、孝感市应城市、株洲市炎陵县、许昌市鄢陵县，团结村，黑龙江省绥化市庆安县国有林场管理局，河坊村，李庄社区，人民社区下榕角村，下彭村，徐官庄村，景富社区，甘坊村南良庄，大北市村，巴彦乌楞嘎查
绿园区（下辖0个街道、8个镇、5个乡
赫山区（下辖0个街道、8个镇）
新平，常发村，培群村，均安村，钱河村，安乐村，同心村，龙眼，曹集南洲村，新业社区，欣园社区，赵家崇，年丰村梅花村，沙岗村，安家嘴社区
新兴区（永丰镇、大忠桥镇、孟定镇）、大源镇、麻洋镇、徐家营街道、万全镇）
树坝村，油坊坪村，后围村，云山背村村，青山村，三分场村生活区，思旺社区，王村村，林庄屈家村，甲山村，四围子村，荣新村，南汪家庄村西坑村，沙河，广东省江门市开平市三埠街道
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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