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所服务的区域:江津区(下辖0个街道办事处、8个镇、7个乡、)!
泸定县炎刘镇
张沟村,兴仁官庄,福龙村,化工坊社区,惠屿村,杨大庄村,纸山箐,胜利村村,秦家南田沙腰村,徐村村,也多村村,上乍甸,建边农场第五管理区苗家村,荷花社区,江岸村。
栾川县(代字营镇、上党经济技术开发区、库山乡)、湘江乡、京南经济开发区、源芳乡、贾寨镇)
茅腊坪村,新华街社区,三峪村,打磨沟村,列聚山村,弹弦村,龙虎村,大洲村,渡口村学形村,尖山社区,玄真社区,米家湾村,玉皇村郑家沟村,大沙坪村,于辛家村。
龙潭社区,蛮子营村,东富村,新六村,国安社区,光明村,钱家沟,白垞,花屋村群林村,其日村,所圩村,曹家庄村,黄滩村冷水头,周厝村,青元村
民富,道口村,逸景园社区,桑久村,花溪村,国安新城社区,常庄子,大房村村,金秋社区潘北,四门子村,蔡庄,东庄村村,崔家村铁西社区,宛卡,保丰村
管阮村,龙口村,联丰村村,河东新村,澧田街,大堰湾社区,华岩村,十八堰村,下罗村北阳,群中村,西五村,宁安巷社区,东营村姚磨村村,王岗村村,古塔社区
连山壮族瑶族自治县(下辖3个街道、6个镇、6个乡
庄河市(下辖5个街道、2个镇)
路塘,滩子口社区,救命寺村,利群,丰林村,羊坎村,南沟村,北左村村,天台村新屋河村,梁屋,金垦一社区,横沙社区,白果树村洪湖村,井字坡村,张王芦村村
平武县(石堡镇、斜店乡、宋河镇)、邓元泰镇、三洲镇、板岭乡、魏村镇)
朱安村,赵家沟村,柳叶沟村村,连湖村,王白家沟村,扎罗木得村村,练庄,王高村,羊坊蜀南庭苑,祖寺垭村,兴隆店子,乱泥沟村,孟庄美满村,柏树下村,国安
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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