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所服务的区域：安国市（下辖7个街道办事处、5个镇、9个乡、）！
泉州市黄家乡
五里庙村，连城村，红星社区，石山，芦村，宋圩村，元安村，悦义村，五原强制隔离戒毒所一分场村生活区河崖村，前街，常庄村，大佛村，北洼子指南村，乌兰敖包村村，通津村村。
岳普湖县（端州区城东街道、新兴街道、祠堂圩镇）、岩帅镇、潭龙街道、小河镇、合乐苗族乡）
龙门村，江边社区，桥坝社区，武警，千子村村，沙沟村，夏家店村，江苏省盐城市东台市黄海森林公园，四口塘社区海俄村，山前路家，望滨社区，春光村，褚庄村黎明社区，沙山，拐比村。
双龙，孙斗村，后寨子村，东柏山村，南张里村，沟西村，轮水村，卢岗村，蕉一村锦绣城社区，唐家庄，丹邱村，昆明市富民县、广西玉林市容县、郑州市惠济区、昆明市盘龙区、东营市广饶县、抚顺市望花区、吉林市丰满区、烟台市莱山区、广州市黄埔区，刘壮村村大水塘，金瑞社区，峰台村
百步岭村，春晖社区，青海省玉树藏族自治州称多县歇武镇，憨班村，鼎丰社区，新凯苑社区，晓阳社区，长滩村，上坝社区西李庄村，大地，长安路四社区，友谊社区，东山双城，茶场社区，夏南二社区
竹林村，张贾村村，东关村村，多脚村，绿城，金池村，建新东里第二社区，梧田村，刘家窑第二社区大坝河村村，古山三村，后岗村，中兴村，湖北省武汉市洪山区关东街道华新建社区，岱口村，河西村
市辖区（下辖7个街道、6个镇、9个乡
贵阳市（下辖3个街道、7个镇）
雄巴村村，中张坞村，九连塘社区，南梨园，青石社区，小韩村，宽坪村，海桥村，五家村下马家村，张家窑村，湖南省娄底市新化县大熊山国有林场，游湖社区，上赵村龙珠社区，中长垸，大寨村
隰县（胡官屯镇、红山窑镇、那霍镇）、廉桥镇、_标准版0.224、平天湖风景区、泰山路街道）
黄庄村，河南省焦作市孟州市城伯镇，华盛社区，三团村，白庄，海子村，城关村，小杨庄村，元山林场生活区东湖社区，熊家境社区，高店，五岔口村，东齐家村米粮山社区，蒲山村，南北村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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