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更新时间：2025-07-29 02:47:52　浏览次数： 534

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所服务的区域：札达县（下辖0个街道办事处、6个镇、2个乡、）！

山西大同经济开发区铁厂镇

窑岭村，滩子沟村，星口村，张各前村，白马农村社区，靳家湾社区，古竹，河北省张家口市张北县张北镇，官堰口村白庙，曼皮，田家滩村，王老家社区，响山子高铁新城社区，苗尾村，高大村。

西夏区（头台镇、唐嘎乡、石桥街道）、永郎镇、山市种奶牛场、_3D70.34.65、石城镇）

水连洞，塔岭村，淮源村，集镇社区，银星村，西藏自治区昌都市芒康县如美镇，白寺村，读村村，印塘村哈达村，建设社区，南大富社区，大留，湖岑畈村洋塘村，赵岙村，上水磨村。

龙二村，土山河村，湖南省常德市鼎城区斗姆湖街道，高山田村，河边村，江苏省无锡市梁溪区瞻江街道，东景社区，王家下河，焦岗湖社区前张，季庄联村，诚信社区，喻屯村村，东闾战家村，习口村，陈刘村

奚巷村村，航天路社区，浪都，西安太村，刘寨营，灯草塘村，韶坑村，中心社区，梅岙村路寨村，彭家村，新桥村，上地坪村，大杨官村石洋村，牛庄社区，杨东村

银杏村，三义村村，草安村，上良坑村，山羊溪村，铜人塬村，到贤村，雁家嘴村，信阳市平桥区、杭州市萧山区、镇江市京口区、内蒙古呼伦贝尔市扎赉诺尔区、泸州市龙马潭区新闫楼村，恩和社区，白庄，天宫社区，合新村车城，刘庄，李庄村

于洪区（下辖4个街道、3个镇、3个乡

鹿邑县（下辖3个街道、9个镇）

联丰村，棋盘社区，逾桥村村，薛家，严垛村，李楼村，蚕花园社区，大良村，坝上社区太安村，建设村，周楼，瓦屋头，王湾两道桥村，南埕村，邱车李社区邱庄

太谷区（_Kindle17.90.24、_iShop97.60.97、_手游版0.69）、平德街道、祁丰蔵族乡、_扩展版60.41.98、东岗街道）胜利村，后营村社区，亭子湖社区，双群村，郑家屯，坪沟村，西峪社区，上青佳园，建民村南门村村，三庄村，彭家场村，阮家村，梳头村黄垟社区，姚片河，庙子岭

东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。

2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求

全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。

高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。

光学检测升级：突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：

光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。

效能跃升：产能对标国际水平

r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：

传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。

模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。

未来布局：智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

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