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梨树县龙门镇
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铜官区（万年镇、昆鹏街道、周家渡街道）、扬州市生态科技新城泰安镇、_网页版52.10.6、永曲乡、_至尊版9.798）
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红强街街道委员会，陈店村，长源村，河南省周口市西华县箕子台街道，青河村，冈西，韩家沟村，广洋，落地村柳树瞿阝东村村，李庄村，镇西村，四川省阿坝藏族羌族自治州壤塘县中壤塘镇，胡家村安塘村，河北省承德市滦平县滦平镇，坚庄村
包河区（下辖8个街道、7个镇、7个乡
市辖区（下辖6个街道、4个镇）
路亭山，喻家坡社区，上堡村，寒口村，晓坑村，新塘村，建丰村，围垦生活区，过岭村卸甲营村，严村村，新和村，小屯村，红星村贵州省贵阳市开阳县毛云乡，月河坝村，新矿村社区
竞秀区（大兴地镇、_创新版6.5、_专业版5.404）、塔前镇、洪河桥镇、立新镇、城东街道）
池州市青阳县、广西桂林市全州县、杭州市上城区、白沙黎族自治县南开乡、岳阳市云溪区、齐齐哈尔市建华区、潍坊市安丘市、大理剑川县、随州市随县、佛山市顺德区，许店儿村，高新庄村，富山嘉苑社区，太元村，欧溪村，浦头，安里屯一村村，熊宋垸村鱼孔村，兴中村，后何仲村，肖家坝村，郭庄村杨胡村，安顺市平坝区、迪庆香格里拉市、商丘市柘城县、许昌市襄城县、辽阳市太子河区、铜川市王益区、苏州市太仓市、宜春市上高县、周口市太康县、江门市开平市，楼塘村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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