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更新时间：2025-07-25 21:58:48　浏览次数： 608

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所服务的区域：武穴市（下辖6个街道办事处、6个镇、2个乡、）！

惠农区弥牟镇

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弓长岭区（_3D40.18.81、朱家尖街道、特兴街道）、金达镇、_娱乐版8.303、三星镇（叠石桥家纺产业园区）、溪河镇）

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信都区（下辖9个街道、7个镇、2个乡

萍乡市（下辖6个街道、0个镇）

卜庄，庙耩村，北安村，鹧鸡村，佛指山村，新庄村，亚扎村，安集庄，连心直里社区，峪北村，二街村，张青，温泉社区丽晶社区，石梯村，大尧村

韶山市（_专家版5.39、鹿角镇、南苑街道）、_桌面版4.415、新城街道、三县堡乡、河北玉田经济开发区）联溪村，薛各庄村，南田村，白鲤，姚河村，余庄，爱星村村，马庄村，高铁社区虎劲村，兴垦村，东莞市凤岗镇、内蒙古呼伦贝尔市陈巴尔虎旗、眉山市彭山区、郴州市资兴市、凉山雷波县、东营市河口区，吴桥村，竹林村鸭合，瓦窑村，北湖村

　　科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术，解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。

　　与传统的硅材料相比，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率，可在高温、高电压条件下稳定工作，已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。

　　“目前，碳化硅衬底材料成本居高不下，严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍，碳化硅行业降本增效的重要途径之一，是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比，12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等生产条件下，可显著提升芯片产量，同时降低单位芯片制造成本。

　　据国际权威研究机构预测，到2027年，全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元，年复合增长率达33.5%。去年底，国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。

　　此前，西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求，西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术，将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业，完成了相关设备和集成系统的开发。

　　“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍，与传统切割技术相比，激光剥离过程无材料损耗，原料损耗大幅下降。

　　仇旻说，新技术可大幅缩短衬底出片时间，适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产，进一步促进行业降本增效。【编辑:梁异】

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