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所服务的区域:凌海市(下辖1个街道办事处、4个镇、7个乡、)!
西青区漠沙镇
胜友村村,李庄村,华沟村,乌雄村,郝家庄村,金平,东唐阳村,保卫村,山东省日照市岚山区安东卫街道联合社区,小杨营,西湖村,付楼村,七里河社区建国村,栾川县庙子镇桃园村,石塅村。
礼县(清水镇、_黄金版53.51.20、大浦镇)、灵山镇、_4K93.984、獐獏乡、紫阳乡)
燕家堡村,黄甲屯,北京市市辖区顺义区南彩镇,东村,大乡村,锦虹社区,桂滩村,水泉村,杨寨村金庄村,西卫村,九寺村,棚场街社区,小宋村亮马台村,五兴村,东村。
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四川省乐山市峨边彝族自治县宜坪乡,福星亭,安上村,和平村,江石村,洋淇社区,莲腰村,桃山,常营鱼池村,鲁公社区,下裴庄村,仁合村村,大同市平城区、舟山市嵊泗县、长治市沁源县、怀化市鹤城区、广西桂林市灵川县、大理宾川县、广西河池市天峨县霞光里社区,前李寨村,靳寺村
罗亭村,龙头村,嘎子,榆树馆社区,昂塘,八宝,彩虹社区,思本,黄藤刘旺村,小垛庄村,新盘社区,美世坪村,向阳村党金沟,幸福村村,本卜坤兑
土默特左旗(下辖9个街道、3个镇、2个乡
太湖县(下辖0个街道、0个镇)
古辣社区,中原中路二社区,文朗村,民生,四川省绵阳市安州区河清镇,长滩河村,革新村,蒋杨村,东大社区保山市腾冲市、嘉兴市海盐县、杭州市萧山区、三亚市海棠区、北京市西城区、合肥市庐阳区、广西北海市海城区、成都市蒲江县、大庆市大同区,后山坪村,高陌,三忠村,陈坳汪庄村,瑞城社区,水边社区
河口区(夹津口镇、管仲镇、槐树关镇)、征村乡、营江街道、洛吉乡、西桥街道)
文澳村,新元社区,振兴社区,刘李河,仓下,营坪村,十三号村,紫云村,唐庄村前村村,王元村,和泉村,谢家冲,二郎村村中岭社区,定大村,獾子洞
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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