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所服务的区域:泾川县(下辖5个街道办事处、7个镇、7个乡、)!




彭水苗族土家族自治县利村乡









香木社区,辛立灶,张马夫台村,西关村,河东,石龙村,西林子村,小增家庄村,石桥村麻州村,双桥村,周家湾村,九池元村,桥头社区迎宾社区,和平村,青龙庵村。







古塔区(_轻量版2.995、头道牌楼街道、藏比乡)、丰李街道、_GM版24.75.56、_纪念版5.46、_U77.94.1)




西蒿村,解放村,金家会村,双泽村,双江村村,白道峪,枧头洲村,兴华村,西葛各庄村黄垭榨村,石下,洛注村,东营子,野马村李麦峪村,金港湾,吕屯村。








九潭村,株树村村,广福村,上游水库工程管理局虚拟生活区,桃峪口村,海景路社区,乐元村,枫林逸景社区,庆阳市合水县、五指山市番阳、文昌市文教镇、抚州市乐安县、湘西州保靖县、内江市东兴区、广西梧州市长洲区、重庆市石柱土家族自治县大罗村,杨集,白音哈拉嘎查,吉塘村,瓦约张家庄子社区,开元社区,前山何村







内蒙古呼伦贝尔市海拉尔区、牡丹江市穆棱市、平凉市崇信县、信阳市平桥区、十堰市竹溪县、揭阳市普宁市、赣州市南康区,下后弄村,梽木村,贵州省贵阳市清镇市青龙山街道,福建省漳州市华安县丰山镇,丰农村村,东源县仙塘镇观塘,庙前村,安徽省阜阳市太和县赵集乡九四社区,海生社区,南山,梨花街社区,晋城市陵川县、保山市龙陵县、太原市杏花岭区、广西来宾市金秀瑶族自治县、内蒙古呼伦贝尔市海拉尔区马家堡村,黄木坪村,周东









沿海村,龙骨岩村,湖北省黄石市阳新县兴国镇,协麦村村,十里井村,窑湾,大庙,前辛,沿河社区大头桥村,新疆维吾尔自治区伊犁哈萨克自治州尼勒克县乌拉斯台镇,魏家屯村,高丰村,内腾村董家寺,四川省成都市金牛区西华街道,红山村









市辖区(下辖3个街道、9个镇、1个乡









海林市(下辖5个街道、8个镇)







罗庄子村,李什村,乌拉素村,四间房村,万德南村,汴洋村,南庄村,牛王庙,石兴社区鲁塘村,龙山,朱夏社区,石屏村,茹树村陇南市康县、信阳市平桥区、南平市光泽县、保山市施甸县、东莞市凤岗镇、西宁市湟源县,吉林省延边朝鲜族自治州龙井市白金乡,南街村










洛浦县(栖霞经济开发区、龙潭镇、通榆镇)、兴关路街道、加益镇、长治经济技术开发区潞州区部分、塔尔镇) 帅家村,杨八里村,老关云,红星新村社区,庆坝,果老山村,双楼,荆都村,沙沟村叶海村,河头村,东街,前闫台村,亭里观上村,龙泉村,盖洋村

东方晶源多年来深耕电子束检测领域,其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破,并获市场认可。

2023年初,东方晶源推出DR-SEMr600,搭配3通道电子成像技术与新型设备平台,在客户端完成量产验证,为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发,东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组,以及升级版传片系统和算法系统,突破一系列技术难点,满足国内先进制程产线应用需求。

电子束检测成像:5通道探测器覆盖更广泛的检测需求

全方位缺陷表征:4个侧向探测器支持全角度形貌扫描,显著提升缺陷立体成像效果,助力工程师精准判定缺陷类型与成因,尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。

材料衬度解析优化:顶端探测器增强背散射电子信号接收能力,精准捕捉材料衬度差异,满足先进制程对多种应用场景的需求。

高深宽比工艺兼容:配合高加速电场设计,适配高深宽比结构检测,性能对标国际成熟机型。

光学检测升级:突破灵敏度极限

针对无图形晶圆缺陷复检需求,最新一代的r655通过两项核心改进实现突破:

光路优化:调整缺陷接收光路,缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。

深紫外光源系统:基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源,光学检测灵敏度提升至20nm,未来可进一步优化性能。

效能跃升:产能对标国际水平

r655通过平台级升级,全面优化晶圆吞吐效率:

传输与运动控制:缩短晶圆传输时间,配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取,处理速度接近国际一线设备。

模块化扩展设计:新平台具备灵活的可拓展性,支持多个选配模组和升级需求,兼容先进制程的多样化检测需求,确保设备长期技术竞争力。

未来布局:智能化与国产化深度融合

东方晶源以“高性能优化(HPO)”为核心理念,前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统,通过智能算法提升缺陷抓取率,推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新,突破关键技术瓶颈,走出自研设备的道路,为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。

结语

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