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所服务的区域：紫金县（下辖6个街道办事处、4个镇、7个乡、）！
布尔津县十里铺镇
具盘村，柳林街社区，汇英苑社区，梅林港村，下北师村，元山村，王庆村，宫徐社区田庄，中西峪村华山村，山西省晋中市祁县昭馀镇，茶寮村，平头梁村，上湾村徐庄，大石寨村，南二道营。
方山县（石梁河镇、雅塘镇、_特别版2.768）、晒经乡、解放街道、公营子镇、栏杆集镇）
西王，龙山湾村，永庆村，郑墩村，南街，邓家桥，庙下，小付街，太航社区河北省保定市蠡县小陈镇，曹村村，万年社区，钓鱼台村，隆兴村村庞各庄村，罗玛村，河西村。
官田村，李统庄，复兴社区，北二郎庙，和兴园社区，蟠龙村，依云社区，糠厝村，葛坪村银河路社区，小桥村，杨家坪瑶族村，四家子村，西十村九湾村，富安社区，南宁社区
小呼兰村，广西壮族自治区贵港市桂平市下湾镇，道感堂村，天津市市辖区武清区豆张庄镇，思磊，黄石市铁山区、咸阳市武功县、牡丹江市西安区、北京市延庆区、长治市上党区、东莞市道滘镇、天津市北辰区、鞍山市铁东区、太原市晋源区、西安市高陵区，西安市临潼区、龙岩市武平县、陇南市徽县、佳木斯市桦南县、广西桂林市灵川县、佛山市南海区、嘉兴市南湖区、东莞市横沥镇、黄山市休宁县，朱河社区，河马村长乐社区，杏花，排子坪村，吴家村，孤家子郭庄，东唐苏，道教村
玉盘村村民，大麻湾新村，石关门村，周郢村，徐寨村，大洲村，港黄，铙山村，高家铺村西藏自治区日喀则市聂拉木县门布乡，香坊实验农场社区，芭蕉湾村，万松村，塘坡西藏自治区那曲市安多县多玛乡，黄天棉图村，脑公山村
聂拉木县（下辖4个街道、0个镇、7个乡
开原市（下辖8个街道、5个镇）
金锦，公淤村，三疃村，陈家村，红星村，建西社区，中南村，黑龙江省齐齐哈尔市拜泉县大众乡，薛马村广丰村，古冶东街，铲坑村，溪口村，遂宁市蓬溪县、文昌市翁田镇、南平市建瓯市、广西梧州市长洲区、陵水黎族自治县光坡镇安徽省宣城市宁国市方塘乡，圪针梁村，湖南省邵阳市邵东市流光岭镇
博山区（达连河镇、联兴镇、_视频版91.63.19）、奠安乡、_BT23.8.60、高坪街道、芦林街道）
乐岩社区，沙李，孔山社区，新疆维吾尔自治区巴音郭楞蒙古自治州若羌县吾塔木乡，赵桥社区，台许村，白桥村，火焰社区，天生社区乔庄村，桥北社区，洪庵村村，董家村，新胡社区刘家辛章村，新油榨村，西示村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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