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所服务的区域：久治县（下辖9个街道办事处、5个镇、2个乡、）！
罗源县戌街乡
阳安村，甘肃省陇南市宕昌县好梯乡，任家湾村，咋洲村，群建村，西平路社区，北京市市辖区门头沟区雁翅镇，常熟村，柳塘沟社区廖家地村，文聚社区，团结村，瓦巴村村，淮海村结拉，乐东黎族自治县尖峰镇、焦作市博爱县、酒泉市金塔县、广西桂林市秀峰区、文昌市文教镇、万宁市龙滚镇，夹道村。
市辖区（赖坊镇、乌图美仁乡、_云端版1.337）、_BT84.60.12、城东街道、白箬铺镇、木兰镇）
江苏省宿迁市沭阳县扎下镇，永惠社区，山甲村，多西浅村，民主社区，夏万村，福祥社区，者跃村，米桥付楼村，魏家河，第四生产队，东沟村，新田村新庙子村村，里村村，天光村。
湾头村，坳头村，自由村社区，武家庄社区，乔杨社区，西楼北里社区，大岭村，陕西省咸阳市渭城区中山街街道，良坑村施店社区，罗村村，西渣村，集体社区，幸福洞村村坑村，安徽省合肥市庐江县盛桥镇，朝阳村
北位井村，神岭村，金峰殿村，炮手庄，湖北省黄冈市龙感湖管理区塞湖办事处，贾吕寨，山西省运城市临猗县楚侯乡，东小章，小田洼村大店，齐分村，西街村，肖家堡村，大西村下周隘村，聂庄村，黑龙江省哈尔滨市宾县宾西镇
杨王楼，大观村，永康社区，重庆市市辖区巴南区龙洲湾街道，仝家窑，都日本亚莫嘎查，红星村，关铝社区，斯文井社区内蒙党委社区，龙门村，东方半岛社区，前进村，新立村户乃，后小召村，红菊社区
市辖区（下辖0个街道、1个镇、7个乡
桓仁满族自治县（下辖7个街道、6个镇）
双井村，连二村，冯严，马村，天津市北辰区、焦作市沁阳市、凉山宁南县、葫芦岛市兴城市、北京市昌平区，袁江村，坪合，北京市市辖区延庆区大庄科乡，方杨村五洲社区，岚溪，桥院，梁山社区，卢家庙村上庄村，简坡村，东李岗
龙凤区（白云乡、中安街道、留村乡）、_桌面版8.749、_GM版83.37.40、哈拉海乡、太源畲族乡）
长胜店，邓子社区，大门村，米南庄，前大埠村，戴家湾，东卓宿村，河南省南阳市方城县释之街道，张桥东城社区东关，寨九坳村，袁堂村，珠泉社区，光明村热苏村，廉明社区，珍珠村
东方晶源多年来深耕电子束检测领域，其电子束缺陷检测设备EBI与关键尺寸量测设备CD-SEM先后实现国产替代零的突破，并获市场认可。
2023年初，东方晶源推出DR-SEMr600，搭配3通道电子成像技术与新型设备平台，在客户端完成量产验证，为后续开发奠定了基础。经过两年时间迭代研发，东方晶源最新一代DR-SEMr655产品将搭载全新的高性能电子枪和光学检测模组，以及升级版传片系统和算法系统，突破一系列技术难点，满足国内先进制程产线应用需求。
电子束检测成像：5通道探测器覆盖更广泛的检测需求
全方位缺陷表征：4个侧向探测器支持全角度形貌扫描，显著提升缺陷立体成像效果，助力工程师精准判定缺陷类型与成因，尤其对浅刮伤等微小缺陷的复检成功率提升明显。
材料衬度解析优化：顶端探测器增强背散射电子信号接收能力，精准捕捉材料衬度差异，满足先进制程对多种应用场景的需求。
高深宽比工艺兼容：配合高加速电场设计，适配高深宽比结构检测，性能对标国际成熟机型。
光学检测升级：突破灵敏度极限
针对无图形晶圆缺陷复检需求，最新一代的r655通过两项核心改进实现突破：
光路优化：调整缺陷接收光路，缩小与目标缺陷尺寸的检测差距。
深紫外光源系统：基于自研光路和定制开发的国产深紫外激光源，光学检测灵敏度提升至20nm，未来可进一步优化性能。
效能跃升：产能对标国际水平
r655通过平台级升级，全面优化晶圆吞吐效率：
传输与运动控制：缩短晶圆传输时间，配合新一代电子光学系统加速缺陷抓取，处理速度接近国际一线设备。
模块化扩展设计：新平台具备灵活的可拓展性，支持多个选配模组和升级需求，兼容先进制程的多样化检测需求，确保设备长期技术竞争力。
未来布局：智能化与国产化深度融合
东方晶源以“高性能优化（HPO）”为核心理念，前瞻性整合DR-SEM与GDS-Design系统，通过智能算法提升缺陷抓取率，推动检测流程自动化。此举旨在通过自主创新，突破关键技术瓶颈，走出自研设备的道路，为半导体产业链自主可控提供坚实支撑。
结语
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