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所服务的区域:文登区(下辖1个街道办事处、9个镇、7个乡、)!
当涂县雷家碛乡
镇东村村,康屯,下程,廖花河村,福居社区,奥林匹克花园第二社区,牛营子村,永昌村,寺底村水泉村,纸坊村,榜沙,园林路社区,李现庄康乐社区,桩头村,英墩村。
本溪市(正阳关农场、洋中镇、上港乡)、平王乡、龙穴街道、长丰土家族乡、北四家子乡)
洋妹村,三岔口村,宏波社区,黄安,土门村村,东湖,王家艾曲后街村,杏山子社区,火星农场虚拟生活区尹巷村,金墩,蒋黄,新茂,怡顺社区善政,南白羊,孙鉴村。
曹园村,杨雪村,儒教村,石河,陈大梁村,错通,北安社区,陈村营,富竹莲风,刘寨村,丰山社区,板栗村,马庄村佳和社区,沙尔沁社区,垛南村
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王石楼村,长溪村,钱杭社区,刘洼,浪石村村,杨树屯村,黑沟,西兆通社区,景华村村白湖村,木洲村,昌平社区,新发冲村,魏洼先锋村,金水村村,三角
利津县(下辖1个街道、3个镇、6个乡
双牌县(下辖1个街道、4个镇)
城南社区,平桥社区,新泉井村,董前坡,海塘村,沙沟村,宫家新村,焦坑村,后洼村溪塔村,新地村,李庄村,青岭村,房庄百井村,双丰村,太阳社区
临武县(阴阳赵镇、那哈乡、千佛阁街道)、汀田街道、八五〇农场、凤凰镇、棠香街道)
光明,三渔村,石龙社区,畔峪,科白,往致村,下陈宋村,桂花村,龙王冲村胡家峪村,靖华园,秋里村,丽晶港社区,新建社区大贤村,白音他拉村,木王村
科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉,由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术,解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。
与传统的硅材料相比,碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率,可在高温、高电压条件下稳定工作,已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。
“目前,碳化硅衬底材料成本居高不下,严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍,碳化硅行业降本增效的重要途径之一,是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比,12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积,在同等生产条件下,可显著提升芯片产量,同时降低单位芯片制造成本。
据国际权威研究机构预测,到2027年,全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元,年复合增长率达33.5%。去年底,国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。
此前,西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求,西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术,将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业,完成了相关设备和集成系统的开发。
“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍,与传统切割技术相比,激光剥离过程无材料损耗,原料损耗大幅下降。
仇旻说,新技术可大幅缩短衬底出片时间,适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产,进一步促进行业降本增效。 【编辑:梁异】
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