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更新时间：2025-07-05 13:58:28　浏览次数： 796

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乌恰县锡钦乡

西后屯村，郭家营村，戚台头村，青云村，张家村村，突水村，顶山，东宝张，何庄村南浦村，清溪村，黄埔村，王家山村，河崖水兴村，大园村村，民族村。

罗庄区（鹤北镇、白鹿泉乡、金塘镇）、鼓楼街道、昌德镇、新安镇、洛阳路街道）

刘大碗村，江东村，姬袁庄社区，三江口村，碾子沟，龙湖社区，前夏庄，浪利村，王门贯庄村，金鹤园社区，龙记村，新光七村，山头里村岳城，谢楼，兴春村。

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旌阳区（下辖9个街道、0个镇、9个乡

武胜县（下辖3个街道、2个镇）

前泥沟村，西南召村，东河庄村，同心村村，太平沟，后文义，屈子祠村，华光，民生村红庙子，九江村，小绿汁社区，南坡杨村社区，十里堡村老寨西村，羊三木四村，西沶村

肇源县（黄茶岭街道、彬桥乡、惠宾街道）、安平镇、彭店乡、毛都站镇、二仙桥街道）孙冲村，桃源村，刘庄村，刘庄村，幸福新村，新顺社区，第十九，中小营，万寿社区二道城子村，北山尾分场生活区，南北庄村，黑家河村，弄贤河西村，油榨村，共和村

　　科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术，解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。

　　与传统的硅材料相比，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率，可在高温、高电压条件下稳定工作，已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。

　　“目前，碳化硅衬底材料成本居高不下，严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍，碳化硅行业降本增效的重要途径之一，是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比，12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等生产条件下，可显著提升芯片产量，同时降低单位芯片制造成本。

　　据国际权威研究机构预测，到2027年，全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元，年复合增长率达33.5%。去年底，国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。

　　此前，西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求，西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术，将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业，完成了相关设备和集成系统的开发。

　　“该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍，与传统切割技术相比，激光剥离过程无材料损耗，原料损耗大幅下降。

　　仇旻说，新技术可大幅缩短衬底出片时间，适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产，进一步促进行业降本增效。【编辑:梁异】

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